Perfekt durchlöchert mit dem Laser

Höchste Präzision und Bearbeitungsgeschwindigkeit kennzeichnen den Ultrakurzpulslaser. Diese Technologie kommt oft dort zum Einsatz, wo die mechanische Bearbeitung nicht oder nicht mehr möglich ist. So z.B. bei Mikrobohrungen eines extra-dünnen Keramik-Films.

100.000 Bohrlöcher in weniger als einer Minute

Präzisionsbohrungen mit dem LaserFür die Herstellung von Spulen der Mikroschaltkreise sind ultradünne Keramikfilme erforderlich, die höchstens 20 Mikrometer dick sind. Dabei sollen die Filme perforiert, also mit mikroskopisch kleinen Löchern durchbohrt werden. Der Durchmesser dieser Löcher beträgt zwischen 15 und 25 Mikrometern und es sind mehrere Hundert Tausend davon notwendig. Diese Aufgabe übernimmt nun bei der Manz AG aus Reutlingen ein Ultrakurzpulslaser. Die Pulslänge beträgt zwischen 6 und 10 Pikosekunden, für das Bohren eines Loches braucht der Laser nur 0,35 Mikrosekunden. Somit gelingt es dank des Laserbohrens innerhalb von nur 40 Sekunden ca. 100.000 solche Mikrobohrungen durchzuführen. Die Ingenieure von Manz haben es weiterhin erreicht, dass der Laser zwei über einander gelegte Keramikfilme gleichzeitig durchbohrt. Das Resultat sind sage und schreibe 200.000 Bohrungen in weniger als einer Minute. Anschließend werden bis zu 40 Filme übereinander gelegt, so dass aus dem Stapel von 130 x 130 mm großen Filmen bis zu 100.000 Minispulen, dessen Durchmesser lediglich 200 Mikrometer beträgt, produziert werden.

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